Русский
Валюта RUB
Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния. купить в Санкт-Петербурге
Купить Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния.
Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния.

Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния.

Под заказ
Уточняйте цену у продавца
Пример: +7(50)123-45-67
Доставка:
Россия, Санкт-Петербург
(Показать на карте)
+7(8 
Показать телефоны
Менее 1 года на Allbiz
Технические характеристики
  • Страна производительРоссия
Описание

Совместная разработка ООО «Апекс» и группы российских специалистов.

Установка предназначена для выращивания монокристаллов карбида кремния сублимационным методом диаметром до 100 мм и высотой до 25 мм. Время полного технологического цикла роста кристалла 72 часа.

Технические характеристики установки:

  1. Потребляемая мощность, кВТ, не более 45
  2. Номинальная температура в рабочем объёме теплового узла, ⁰ С, не более 2300 - 2350
  3. Предельное остаточное давление в холодном состоянии, Па, не более 2 * 10⁻³
  4. Максимальная мощность в цепи нагревателя, кВт, не более 25 
  5. Точность стабилизации мощности в цепи нагревателя, % , не хуже 0, 5
  6. Максимальный расход инертного газа (Ar), л/ч, не более 261 
  7. Максимальный расход легирующего газа (N2, л/ч не более 0, 36
  8. Диапазон рабочих скоростей перемещения ростового тигля, мм/ч 0, 1 - 25
  9. Скорость вращения тигля, об/мин, 6
  10.  Расход охлаждающей воды при номинальной температуре электропечи, м³/ч 6
  11.  Номинальное напряжение питающей сети, В 380
  12. Номинальная частота питающей сети, Гц 50
  13.  Число фаз питающей сети 3
  14.  Габаритные размеры установки 3690х1995х2457
  15.  Максимальная площадь размещения ( с зоной обслуживания), м³, не более 7 На установках возможно получение монокристаллов карбида кремния со следующими характеристиками:

Политип

4Н, 6Н

Политипная однородность

более 95%

Диаметр

50 - 100 мм

Высота в центре

18 - 25 мм

Поверхность

Без отклонений {0001}±0, 5⁰

Отклонённая на 4, 0⁰ в направлении

 

Тип проводимости

n

Легирующая примесь

Азот (N2)

Удельное сопротивление, диапазон

0, 0001 - 0, 01 Ом/м

Плотность микропор

≤5 микропор/см²

Способы доставки
Связаться с продавцом
Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния.
Установка роста объёмных монокристаллов карбида кремния.
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0