Купить Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
ustanovka_vakuumnaya_vtt_700_rez
ustanovka_vakuumnaya_vtt_700_rez
ustanovka_vakuumnaya_vtt_700_rez

Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом

Код: VTT 700 REZ
Товар от производителя
В наличии
Уточняйте цену у продавца
Доставка:
Продавец
Беларусь, Сморгонь
(Показать на карте)
+375 
Показать телефоны
10
10 лет на Allbiz
Технические характеристики
  • БрендCo Ltd VTT
  • Страна производительБеларусь
  • ЦветБелый
Описание

Вакуумная установка VTT - 700 - REZ предназначена для напыления в вакууме магнетронным способом односторонних резистивных (РС3710, РС5406) и металлических (Cr, Ta и т. д. ) тонкопленочных слоев на подложки размером 60х48х1 * и 60х48х0,5 * мм с последующим отжигом при температуре 400 0 С.

Технические характеристики.

1. Внутренний размер камеры: Ø650 х 560 мм .

2.Предельный остаточный вакуум 5х10 - 4 Па в камере.

3. Мощность потребляемая установкой :

- в режиме откачки - до 12 кВт;

- в режиме напыления - до 40 кВт (в зависимости от количества одновременно используемых источников)

4. Магнетронный источник с блоком питания - 4шт.

5. Ионный источник.

6. Технологическая оснастка. Комплект - 50 шт. , размер 60х48х0,5 или 60х48х1 мм.

7. Форвакуумный агрегат WU232.

8. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НД - 400.

9. Затвор высоковакуумный ДУ 400.

10. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚С - 4шт.

11. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280 - 2 ШТ.

12. Система пневматическая на базе элементов SMC

13. Система гидравлическая на базе элементов SMC

14. Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 газами

15. Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

16. Управление ручное и автоматическое.

17. Удаленный доступ

18. Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

 

С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e - mail: vactt@mail. ru

Связаться с продавцом
Установка вакуумная VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
Установка вакуумная  VTT 700 REZ для напыления магнетронным способом
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Способы доставки
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0