Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
- Самовывоз,
- Курьер
- Детально
- БрендVTT
- Страна производительБеларусь
- ЦветБелый
Вакуумная линия VTT PLASMA CROM предназначена для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Cr на подложки из стекла магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником и нагревом.
Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий толщиной не менее 0.1 µm на одну боковую поверхность условной пластины, размером 127 мм на 127 мм в количестве не менее 400 шт за одну загрузку.
Максимальный размер напыляемого изделия - 3650 * 400 мм.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.
1. Внутренний размер камеры: Н=460 мм, В=160мм, L= 8200 мм
2. Предельный остаточный вакуум 8х10 - 4 Па в камере.
3. Мощность, потребляемая установкой:
- в режиме откачки - 12 кВт;
- в режиме очистки и нанесения покрытия - до 40 кВт. (в зависимости от количества одновременно используемых источников)
С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия
Василий Семенович
тел. моб: 375 (29) 6154641
skype: vvs_12
e - mail: vactt@mail. ru
СОСТАВ УСТАНОВКИ.
| № п/п | Наименование | Кол - во. |
| 1. | Магнетронный источник с блоком питания.
Размер мишени, мм Блок питания - ток разряда, мах , А |
2 шт.
570 * 80 * 10. 2шт. 25 |
| 2. | Ионный источник
- рабочая зона, мм - ток разряда, А - рабочее напряжение, В |
1
500 * 70 0.7 |
| 3. | Технологическая оснастка протяженного типа.
Количество одновременно загружаемых изделий размером 400 * 400 - 400 шт. |
1 компл.
400 шт. |
| 4. | Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) | 1 |
| 5. | Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ - 400 | 1 |
| 6. | Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки | 1 |
| 7. | Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . | Две зоны по 8 кВт |
| 8. | Вакуумные датчики:
- PFEIFFER IKR 251 - PFEIFFER PKR 251 - PFEIFFER TPR 280 |
1
1 2 |
| 8 | Система пневматическая на базе элементов SMC | 1 |
| 9 | Система гидравлическая на базе элементов SMC | 1 |
| 10 | Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 - мя газами | 1 |
| 11 | Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.
Сенсорная панель управления (Touch screen interface) Управление ручное и автоматическое. Удаленный доступ Полная автоматизация процесса нанесения покрытий. |
1 |
