Купить Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
ustanovka_vakuumnaya_vtt_plasma_crom

Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий

Товар от производителя
В наличии
Уточняйте цену у продавца
Доставка:
Продавец
Беларусь, Сморгонь
(Показать на карте)
+375 
Показать телефоны
10
10 лет на Allbiz
Технические характеристики
  • БрендVTT
  • Страна производительБеларусь
  • ЦветБелый
Описание

Вакуумная линия VTT PLASMA CROM предназначена для нанесения в вакууме тонкопленочных покрытий Cr на подложки из стекла магнетронным способом с предварительной очисткой ионным источником и нагревом.

Установка обеспечивает равномерное нанесение покрытий толщиной не менее 0.1 µm на одну боковую поверхность условной пластины, размером 127 мм на 127 мм в количестве не менее 400 шт за одну загрузку.

Максимальный размер напыляемого изделия - 3650 * 400 мм.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ.

1. Внутренний размер камеры: Н=460 мм, В=160мм, L= 8200 мм

2. Предельный остаточный вакуум 8х10 - 4 Па в камере.

3. Мощность, потребляемая установкой:

- в режиме откачки - 12 кВт;

- в режиме очистки и нанесения покрытия - до 40 кВт. (в зависимости от количества одновременно используемых источников)

 

С Уважением и надеждой на сотрудничество, директор предприятия

Василий Семенович

тел. моб: 375 (29) 6154641

skype: vvs_12

e - mail: vactt@mail. ru

 

СОСТАВ УСТАНОВКИ.

№ п/п Наименование Кол - во.
1. Магнетронный источник с блоком питания.

Размер мишени, мм

Блок питания

- ток разряда, мах , А

2 шт.

570 * 80 * 10.

2шт.

25

2. Ионный источник

- рабочая зона, мм

- ток разряда, А

- рабочее напряжение, В

1

500 * 70

0.7
3000

3. Технологическая оснастка протяженного типа.

Количество одновременно загружаемых изделий размером 400 * 400 - 400 шт.

1 компл.

400 шт.

4. Форвакуумный агрегат Okta 500 /HENA 300 (PFEIFFER) 1
5. Высоковакуумный откачной модуль на базе диффузионного насоса НВДМ - 400 1
6. Затвор высоковакуумный Ду 400 с пневматическим управлением и возможностью дросселирования откачки 1
7. Нагреватели внутрикамерные с возможностью управления температурой подложки до 400 ˚ С . Две зоны по 8 кВт
8. Вакуумные датчики:

- PFEIFFER IKR 251

- PFEIFFER PKR 251

- PFEIFFER TPR 280

1

1

2

8 Система пневматическая на базе элементов SMC 1
9 Система гидравлическая на базе элементов SMC 1
10 Система автоматическая подачи технологических газов с возможностью работы одновременно с 4 - мя газами 1
11 Система управления на базе промышленного контроллера немецкой корпорации WAGO Kontakttehnik GmbH.

Сенсорная панель управления (Touch screen interface)

Управление ручное и автоматическое.

Удаленный доступ

Полная автоматизация процесса нанесения покрытий.

1
Связаться с продавцом
Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
Установка вакуумная VTT PLASMA CROM для нанесения тонкопленочных покрытий
за
по товару
Ваше сообщение должно содержать не меньше 20 символов. Сообщение не может быть больше 2000 символов.
Не заполнено обязательное поле
Неверно заполнено поле
Неверно заполнено поле
Способы доставки
Сравнить0
ОчиститьВыбрано позиций: 0