Установки для нанесения покрытий на объемные детали

Вакуумная установка является достаточно универсальным устройством для нанесения тонкопленочных покрытий различного функционального назначения, в частности твердых нанокомпозитных. Установка включает следующие функциональные блоки: Рабочая камера Система безмасляной вакуумной откачки Система охлаждения Система газораспределения Система измерения давления Система позиционирования образцов Система нагрева и контроля температуры образцов Технологические источники (несбалансированные магнетроны, ионные источники) Источники питания (магнетронов,ионных источников,нагрева,смещения подложки) Пульт управления с персональным компьютером Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали в виде цилиндра с боковым проемом, закрываемым дверью и водоохлаждаемыми стенками. Технические параметры рабочей камеры: Параметр Значение Размеры рабочей камеры, мм диаметр высота 800 800 Материал 12Х18Н10Т Остаточное давление в камере, Па не более 10-5 Максимальный размер образцов, мм Ø 200 х 400 Количество образцов, шт. 4 - 12 Фланцы: ISO 250 ISO 160 KF 50 KF 40 KF 25 3 шт. 3шт. 3 шт. 1 шт. 3 шт. Система безмасляной вакуумной откачки включает: форвакуумный спиральный насос с предельным давлением не более 5 Па; криогенный насос с сорбционной емкостью 2000 литров по аргону при 10-6мм.рт.ст., вакуумный затвор, систему клапанов, систему вакуумных трубопроводов и сильфонов Система замкнутого охлаждения обеспечивает охлаждение технологических источников и вакуумной камеры и включает 4 канала. В состав системы охлаждения входят: система распределения воды и трубопроводы, датчики протока и термореле, клапаны для обеспечения дистанционного включения охлаждения, теплообменник с воздушным охлаждением. В состав системы газораспределения входят: регуляторы расхода газа, клапаны и трубопроводы для распределения потоков рабочих газов в вакуумной камере. В вакуумной камере расположена система позиционирования образцов. Количество устанавливаемых на манипулятор образцов размером Ø 200 х 400 мм - 4 шт. Манипулятор имеет 12 гнезд для установки образцов размером Ø 80 х 400 мм. Система перемещения позволяет изменять скорость и направление вращения подложки, а также сканирование (перемещение вперед-назад) возле заданного технологического устройства с высокой точностью. В состав системы позиционирования входят: манипулятор, электромеханический привод, магнитная муфта ввода вращения, блок управления В вакуумной камере установлена система нагрева и контроля температуры. Система позволяет нагревать обрабатываемые образцы до температуры от 100 до 400 0С и поддерживать необходимую температуру в процессе нанесения покрытий с точностью ± 5 0С. Установка оснащена двумя несбалансированными магнетронными распылительными системами и двумя ионными источниками с замкнутым дрейфом электронов. Управление технологической установкой осуществляется от персонального компьютера в автоматическом или ручном режиме.