Вакуумная установка ВУ-1100 Оптик
- Самовывоз,
- Курьер
- Детально
- БрендСЗОС ОАО
- Страна производительБеларусь
- ЦветРазноцветный
|
Установка предназначена для нанесения оптических функциональных тонкопленочных покрытий методами термического испарения с использованием электронно - лучевых и резистивных испарителей. Конструкцией изделия предусмотрена возможность ионно - лучевого ассистирования процесса осаждения пленки. Контроль за процессом откачки и технологическими параметрами цикла осуществляет автоматизированная система управления технологическим процессом. Изделие оснащено системой фотометрического контроля оптической толщины пленки в диапазоне длин волн 250 - 1100 нм и системой измерения физической толщины и скорости осаждения покрытия по изменению параметров кварцевого резонатора. |
Оператор управляет установкой с помощью автоматизированного рабочего места (АРМ). Оно реализуется на панельном персональном компьютере под операционной системой, например, Windows NT/200. Состояние установки отображается в виде мнемосхем, таблиц и списков.
Технические характеристики
| 1. | Рабочее давление в камере установки, Па | 6х10 - 4 |
| 2. | Время достижения остаточного давления 6х10 - 4 Па, мин | 30 |
| 3. | Количество/максимальная мощность испарителей, шт/кВА
|
2/6 |
| 4. | Количество ионно - лучевых источников/максимальный ионный ток, шт/А | 1/2.5 |
| 5. | Максимальная масса подложек, устанавливаемых на арматуру, кг | 50 |
| 6. | Максимальная температура нагрева подложек, °С | 320 |
| 7. | Скорость вращения арматуры, об/мин | 6 - 60 |
| 8. | Максимальное число слоев покрытия, получаемое в одном технологическом цикле под управлением АСУТП, шт | 32 |
| 9. | Мощность, потребляемая установкой, кВА | 75 |
| 10. | Общая площадь, занимаемая установкой, м2 | 16 |
| 11. | Масса установки, кг | 2950 |
